Yves MÉNESGUEN

Chercheur, PhD HdR - Université Paris-Saclay, CEA, LIST, laboratoire national Henri Becquerel (LNE-LNHB), Palaiseau, France

  • Article de bases documentaires : R6747
    L’analyse combinée XRR-GIXRF sans référence pour les couches minces

    La technique d’analyse combinant réflectivité X et fluorescence X en incidence rasante s’effectue sans référence à des étalons. Par le calcul du champ électrique stationnaire, elle déduit le profil en densité, en épaisseur, en rugosité d’interface et en composition atomique des couches minces d’épaisseur nanométrique.