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Professeur émérite FEMTO-ST, Université de Franche-Comté, Besançon, France
Relu et validé
La microscopie optique en champ proche permet d'étendre dans le domaine sub-micronique toutes les possibilités des méthodes optiques d'analyse. Cet outil très polyvalent offre des débouchés dans de nombreux secteurs : la photolithographie à haute résolution, la microscopie de fluorescence, la photonique…
La microscopie optique en champ proche permet d’atteindre une résolution sub-longueur d’onde (interdite en microscopie optique classique) grâce à une sonde locale qui détecte un signal non radiatif confiné au voisinage immédiat de la surface de l’échantillon. La sonde balaie cette surface à une distance ou hauteur de quelques nanomètres : il est donc nécessaire d’avoir une boucle de contre-réaction efficace qui permet de suivre la topographie de l’objet. Un microscope champ proche offre ainsi une image topographique de la surface en plus de sa caractérisation optique à l’échelle nanométrique. Cet article présente le principe des microscopes optiques en champ proche, les différentes configurations possibles ainsi qu’une large palette des sondes potentielles suivant l’application requise.
