En 1981, Binnig et Rohrer inventent le microscope électronique à effet tunnel STM (Scanning Tunneling electronic Microscope). Leur découverte va provoquer un renouveau de la recherche en microscopie et donner naissance à de nombreux microscopes fondés sur un principe complètement nouveau. En fait, on peut considérer que leur invention puis celle du microscope à force atomique en 1985 AFM (Atomic Force Microscope) marquent la naissance d'une nouvelle microscopie : la microscopie à sonde locale ou en champ proche. Dans un microscope traditionnel, la partie la plus importante est une lentille, l'objectif. L'objet est éclairé par réflexion ou par transmission et l'objectif capte le champ diffracté par l'objet pour en faire une image. La lumière étant une onde, la diffraction par l'objectif limite le pouvoir de résolution du microscope : le critère de Rayleigh interdit de séparer deux points de l'objet plus rapprochés que la demi-longueur d'onde. En lumière visible, le pouvoir séparateur est théoriquement de l'ordre de 0,25 μm et, pratiquement, est rarement inférieur à un micromètre. Un microscope à champ proche utilise une sonde, très fine, qui est déplacée au voisinage de l'objet (en champ proche), pour l'éclairer ou en capter un signal. Ces microscopes sont des microscopes à balayage ; l'image est obtenue en déplaçant point par point la sonde et en traçant le signal détecté en fonction de sa position. Ils nécessitent l'utilisation d'un ordinateur pour visualiser les images, mais aussi pour contrôler la position de la sonde qui doit se déplacer à des distances nanométriques de la surface de l'objet. Ces microscopes ont un pouvoir de résolution qui n'est pas limité par la diffraction et fournissent des images avec une résolution meilleure que celle des microscopes classiques. Des images avec une résolution de quelques nanomètres sont accessibles en routine, la résolution est de l'ordre de la dizaine ou de la centaine de nanomètres suivant le dispositif. Dans cet article, nous présentons rapidement l'historique des microscopes optiques en champ proche. Puis nous décrivons et comparons les différentes configurations les plus utilisées, en expliquant le principe de fonctionnement et en montrant comment l'utilisation des ondes évanescentes permet de dépasser le critère de Rayleigh. Nous présentons ensuite les différents problèmes techniques et les solutions qui leur sont apportées, ainsi que les résultats actuels et quelques exemples d'applications. Les perspectives et l'évolution probable de cette technique sont évoquées en conclusion. Pour de plus amples renseignements, le lecteur se reportera aux articles [P 895] [P 860] et [P 863].
Historique
La microscopie optique à sonde locale aurait pu naître 50 ans plus tôt. Le principe est décrit dans un article prophétique de E.H. Synge en 1928 . Dans cet article, l'auteur suggérait d'améliorer la résolution des microscopes optiques en utilisant une nano-ouverture percée dans un écran métallique pour aller sonder, à quelques nanomètres de distance, le champ proche au voisinage de l'objet. Dans une lettre à Einstein, il envisageait d'utiliser une pointe en quartz métallisée à son extrémité comme sonde optique, ce qui est pratiquement la solution adoptée aujourd'hui pour les microscopes optiques en champ proche. Les premières expériences ne sont réalisées qu'en 1972 et, pour des raisons technologiques, elles ont lieu en ondes radio puis en infrarouge, mais elles utilisent la première configuration de Synge : la sonde est une ouverture dans un écran métallique. Il faut attendre l'invention du STM pour que naissent les premières réalisations en optique. L'inconvénient majeur du STM est qu'il nécessite des échantillons conducteurs (ou métallisés). Le microscope à force atomique (AFM) inventé en 1985 par Binnig, Quate et Gerber pallie cet inconvénient en détectant les forces d'interactions inter-atomiques entre une pointe et la surface. Parallèlement, le premier microscope optique en champ proche a été réalisé en 1983 par D. Pohl travaillant lui aussi dans le laboratoire de Binning et Rohrer. D'autres prototypes sont réalisés un peu plus tard aux États-Unis, à l'université Cornwell .
Les premiers essais sont effectués avec la configuration de Synge : la sonde optique est une nano-ouverture dans un écran métallique plan. Mais cette solution souffre de graves inconvénients : il est impossible de déplacer un plan à quelques nanomètres de la surface d'un objet sans avoir de collisions dommageables pour la sonde et l'objet.
La microscopie optique en champ proche va vraiment se développer quand les expérimentateurs vont avoir l'idée d'utiliser, comme sonde optique, une pointe très fine.
En 1984, une pointe de 30 nm de rayon de courbure est réalisée en attaquant chimiquement un cristal de quartz . L'équipe américaine utilise, dans le même but, une micropipette étirée à chaud . Ces premières expériences utilisent la pointe comme une source et travaillent par transmission. Le premier microscope avec une pointe pour collecter le champ proche date de 1987 et, en 1989, est réalisé le premier microscope par réflexion . En 1989, trois équipes indépendantes vont créer un véritable équivalent optique du STM .
Dès 1985, on démontre que les techniques de microscopie en champ proche peuvent vaincre le critère de Rayleigh et on annonce une résolution de λ/20 soit 30 nm . En 1995, des images montrant des détails de 1 nm ont été obtenues grâce à un microscope en champ proche d'un type nouveau : la sonde ne servant ni à éclairer, ni à détecter le champ proche .
Les premières vraies applications sont publiées en 1992 par Betzig et Trautman . Depuis, le nombre de publications démontrant les diverses possibilités d'applications de la microscopie optique en champ proche se sont multipliées . On peut trouver des références dans les comptes rendus des conférences internationales [Doc. P 862]. La dernière en date à ce jour, NFO-12 (Near Field Optics, Nanophotonics and Related Techniques, San Sebastián, Espagne, 2012), qui fêtait ses 20 ans d'existence a connu un franc succès en réunissant plus de 400 participants internationaux.
