Applications des décharges électriques

   1 Utilisation des plasmas de décharge

   2 Répartition des espèces chargées du plasma autour d'unsubstrat

   2.1 Généralités

   2.2 Gaine électrostatique et perturbation de la zone neutre autour d'un substratimmergé dans une décharge

   2.21 Phénoménologie de l'équilibre plasma-substrat

   2.22 Modélisation de la gaine ionique à une dimension dans un plasma debasse pression

   2.23 Modification de la région neutre du plasma

   2.3 Modification de la gaine électrostatique d'un substrat soumis à un champalternatif

   2.31 Temps de mise en équilibre d'une gaine

   2.32 Effet de redressement

   3 Décharges utilisées

   3.1 Décharges multipolaires

   3.2 Décharges micro-ondes à onde de surface

   3.3 Décharges radiofréquences

   Index bibliographique