1 Utilisation des plasmas de décharge
2 Répartition des espèces chargées du plasma autour d'unsubstrat
2.1 Généralités
2.2 Gaine électrostatique et perturbation de la zone neutre autour d'un substratimmergé dans une décharge
2.21 Phénoménologie de l'équilibre plasma-substrat
2.22 Modélisation de la gaine ionique à une dimension dans un plasma debasse pression
2.23 Modification de la région neutre du plasma
2.3 Modification de la gaine électrostatique d'un substrat soumis à un champalternatif
2.31 Temps de mise en équilibre d'une gaine
2.32 Effet de redressement
3 Décharges utilisées
3.1 Décharges multipolaires
3.2 Décharges micro-ondes à onde de surface
3.3 Décharges radiofréquences
Index bibliographique
