Présentation
RÉSUMÉ
Cet article offre un tour d’horizon sur les composants à hétérostructures semi-conductrices et leur rôle majeur dans le développement de la nanoélectronique et nanophotonique. Les techniques de fabrication se sont améliorées, en termes de qualité et de miniaturisation. Présentation est faite des propriétés des hétérostructures, les simples comme les complexes. Des applications dans ces deux domaines en forte progression viennent illustrer les dernières avancées des connaissances, aussi bien en conception qu’en maîtrise des matériaux nécessaires à l’élaboration de ces composants.
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INTRODUCTION
Les hétérostructures semi-conductrices sont devenues incontournables dans le développement de la nanoélectronique et de la nanophotonique, impliquant l’émergence d’une nouvelle classe de dispositifs basée sur l’exploitation quasi systématique de la nature ondulatoire des particules.
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4. Hétérostructures bi- et tridimensionnelles
L’ingénierie de bande interdite à une dimension semble atteindre actuellement ses limites et la recherche se tourne vers le confinement multiple. Contrôler le transport électronique dans plusieurs directions de l’espace permet de créer de nouvelles fonctionnalités.
4.1 Composants balistiques : les guides d’ondes électroniques
Avant d’envisager réellement l’empilement contrôlé de semi-conducteurs dans plusieurs directions de l’espace, difficile à maîtriser d’un point de vue fabrication, les recherches se sont orientées vers une approche hybride mêlant confinement cristallin et confinement électrostatique. La plupart des approches se basent sur les hétérostructures III-V à très haute mobilité, afin qu’il soit envisageable d’obtenir un transport balistique sur plusieurs dizaines de micromètres à basse température. Associé au dépôt de grilles Schottky en surface selon une géométrie donnée, il est alors possible de façonner « le potentiel » vu par les électrons dans le plan perpendiculaire à l’interface de l’hétérostructure. Les figures 5 a et 5 b illustrent un tel exemple avec le tracé du potentiel électrostatique dans le plan du gaz bidimensionnel de l’hétérostructure. On réalise alors localement une constriction du gaz bidimensionnel et, dans cette zone de l’espace, l’électron ne possède plus qu’un degré de liberté dans son déplacement. À très basse température, si l’on suppose cette zone entourée de réservoirs électroniques faiblement désalignés, alors la conductance est égale au nombre de niveaux quantiques apparaissant dans la constriction multiplié par le quantum de conductance :
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