- Article de bases documentaires : RECHERCHE ET INNOVATION |
- 10 oct. 2013 |
- Réf : IN207
La pulvérisation cathodique magnétron en régime d’impulsions de haute puissance (HiPIMS)
HPPMS... tungsten oxide thin films. Mots-clés – HiPIMS – HPPMS – plasma – magnétron – simulation – films minces... Keywords – HiPIMS – HPPMS – plasma – magnetron – simulation – thin films Le monde industriel... sputtering , mais aussi parfois appelée HPPMS pour high power pulsed magnetron sputtering . Principe...
Les articles Recherche et Innovation présentent des technologies en cours de développement, émergentes, qui n'ont pas encore atteint leur pleine maturité pour un développement industriel mais sont prometteuses.
