Glossaire

# Microscopie électronique à balayage : définition

Technique puissante d'observation de la topographie des surfaces. L'observation de l'échantillon est réalisée par la mesure du flux d'électrons secondaires émis ou du flux d'électrons rétrodiffusés, sous l'impact d'un très fin pinceau d'électrons primaires qui balaye la surface observée. L'intensité du flux d'électrons réémis au point d'impact dépend à la fois de la topographie de l'échantillon et de sa nature. Cette technique permet d'obtenir des images avec un pouvoir séparateur souvent inférieur à 5 nm et une grande profondeur de champ.

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