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Technique puissante d'observation de la topographie des surfaces. L'observation de l'échantillon est réalisée par la mesure du flux d'électrons secondaires émis ou du flux d'électrons rétrodiffusés, sous l'impact d'un très fin pinceau d'électrons primaires qui balaye la surface observée. L'intensité du flux d'électrons réémis au point d'impact dépend à la fois de la topographie de l'échantillon et de sa nature. Cette technique permet d'obtenir des images avec un pouvoir séparateur souvent inférieur à 5 nm et une grande profondeur de champ.
La microscopie électronique à balayage MEB, est une technique puissante d'observation de la surface des échantillons. Elle peut mettre en valeur…
La microscopie optique à balayage est une technique qui évolue sans cesse, en fonction des progrès réalisés dans le domaine de la saisie des informations…
La microscopie électronique à balayage est un outil puissant d'observation des surfaces. Les images de MEB peuvent être facilement ass…
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La microscopie électronique à transmission (MET), en donnant de l’objet mince une image globale avec une résolution meilleure qu’un dixième de nanomètre,…
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Ce sont les allemands Max Knoll et Manfred von Ardenne qui en 1931 ont réalisé les premiers travaux concernant les microscopes à balayage électronique. Il faudra attendre les recherches menées par le britannique Charles Oatley, pour voir la commercialisation, par l'Université d'Oxford en 1965 des premiers microscopes électroniques à balayage. Depuis les années 60, les microscopes électroniques à balayage ont connu des évolutions spectaculaires.
Contrairement à un microscope optique classique, le microscope électronique à balayage utilise un faisceau d'électrons en lieu et place des protons qui sont analysés par l’œil. Le faisceau d'électrons qui balaie la surface observée permet d'obtenir une précision topographique de l'échantillon de l'ordre de 0,2 nm à 40 nm. Le principe du MEB, ou SEM (Scanning Elecron Microscopy), est basé sur la détection des électrons secondaires de surface. Le balayage par les pinceaux d'électrons permet un balayage progressif de surface. Les échantillons à analyser ne doivent, en théorie, pas dépasser un à deux centimètres et être d'un polissage et d'une propreté absolus.
Les évolutions spectaculaires qu'ont subi les microscopes électroniques à balayage, ces dernières années, permettent d'aller toujours plus loin dans la précision et l'analyse des topographies, mais aussi de la matière elle-même.
La grande précision d'observation de la topographie des matériaux et le traitement numérique de ces images permettent une analyse de contraste chimique, de contraste de potentiel, mais également une micro analyse complémentaire par spectrométrie. Toujours plus perfectionnée, la microscopie électronique permet aujourd'hui l'observation d'échantillon dans un écosystème de vide relatif ou partiel. Cette technologie de pointe s'applique par exemple dans le cadre de l'étude de certains micro-organismes. Elle peut être également réalisée à l'aide d'un faisceau ionique complémentaire, permettant de pénétrer la matière elle-même. Ces analyses peuvent être réalisées avec un microscope à balayage à double colonne. Cette technologie, également appelée microscope à double colonne Dual-Beam associe le microscope électronique à balayage et un faisceau ionique focalisé d'une très grande précision
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