# Peald

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procédé PEALD... , les couches de zircone obtenues par ALD et PEALD sont polycristallines, ou formées de cristallites enrobées... obtenus contiennent une forte concentration de résidus carbonés. L’utilisation d’un dépôt [...]

PEALD... . Dans cette section, de nombreux exemples de matériaux déposés par PEALD sont donnés avec à chaque fois une discussion... déposées par PEALD sont nombreux. Cette assistance peut être utilisée pour modifier [...]