Glossaire

# Peald

Dans les ressources documentaires

Articles de références et fiches pratiques à propos de : Peald

ALD en microélectronique
Réf : RE255

procédé PEALD... , les couches de zircone obtenues par ALD et PEALD sont polycristallines, ou formées de cristallites enrobées... obtenus contiennent une forte concentration de résidus carbonés. L’utilisation d’un dépôt [...]

10 nov. 2016

ALD assistée par plasma (PEALD)
Réf : RE260

PEALD... . Dans cette section, de nombreux exemples de matériaux déposés par PEALD sont donnés avec à chaque fois une discussion... déposées par PEALD sont nombreux. Cette assistance peut être utilisée pour modifier [...]

10 oct. 2016

ALD pour des applications capteurs, biocapteurs et membranes
Réf : RE265

. . Un procédé ALD assisté par plasma (PEALD) pour le dépôt d’oxyde d’étain peut aussi être utilisé... ’un autre côté, la croissance épitaxiale par PEALD de 80 nm de TiO 2 directement sous sa forme brookite permet... entre autre comme [...]

10 nov. 2016

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