Glossaire

# Spectroscopie plasma

Dans les ressources documentaires

Articles de références et fiches pratiques à propos de : Spectroscopie plasma

Spectroscopie térahertz
Réf : RE144

en spectroscopie. Sources non linéaires d'ordres supérieurs, sources plasma La limite de transparence... La spectroscopie impulsionnelle apporte une quantité d'informations considérables sur les systèmes... [...]

10 mai 2010

ALD assistée par plasma (PEALD)
Réf : RE260

Cet article a pour but de montrer l’intérêt d’une assistance plasma dans un procédé ALD... . La première section de cet article permet d’introduire et de définir les plasmas froids... ainsi que les réacteurs associés. La seconde section [...]

10 oct. 2016

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