3. Techniques d’assemblage
3.1 Problématique
Pour la réalisation de structures complexes, il est souvent nécessaire de réaliser l’assemblage de deux substrats de même nature ou de natures différentes. À titre d’exemple, citons la réalisation de cavités hermétiques (pour des capteurs de pression absolue ou des gyromètres acoustiques), l’obtention d’une structure capacitive par mise en regard d’une électrode mobile et d’une électrode fixe (accéléromètres, capteurs de pression, microphones...) ou bien l’assemblage du capteur proprement dit et d’une structure de découplage vis-à-vis des contraintes mécaniques extérieures ( encapsulation intermédiaire utilisée par des accéléromètres et des capteurs de pression piézorésistifs).
Le procédé d’assemblage...
Cet article est réservé aux abonnés. Il vous reste 92 % à découvrir.
Déjà abonné ? Se connecter
Techniques d’assemblage
Applications des structures micro-usinées
Bibliographie
Cet article est réservé aux abonnés. Il vous reste 92 % à découvrir.
Déjà abonné ? Se connecter
Article inclus dans l'offre
"Électronique"
(
494 articles
)
Actualisée et enrichie d’articles validés par nos comités scientifiques.
Quiz, médias, tableaux, formules, vidéos, etc.
Opérationnels et didactiques, pour garantir l'acquisition des compétences transverses.
Un ensemble de services exclusifs en complément des ressources.
