2. Technologie du micro-usinage collectif
2.1 Caractéristiques générales
On qualifie habituellement de micro-usinées des structures exploitant les propriétés mécaniques et élastiques des matériaux. Elles comportent en général au moins un élément flexible (poutre, pont ou membrane) et elles sont réalisées par des attaques chimiques ou physico-chimiques profondes (souvent plus de 100 µm). Ces attaques ont pour objet d’isoler des structures élastiques au sein d’un matériau de même nature (en général, du silicium) ou bien de nature différente (par exemple, réalisation d’une poutre en polysilicium par gravure d’une couche d’oxyde sous-jacente).
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Technologie du micro-usinage collectif
Techniques d’assemblage
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