1. Généralités
Un tableau des sigles et abréviations peut être consulté à la fin de l’article.
1.1 Définitions
En microélectronique, deux tendances majeures s’affrontent : le monolithique et l’hétérolithique. Ces deux tendances se distinguent essentiellement par la nature et par les propriétés de leur substrat.
Un circuit intégré monolithique se caractérise par un substrat de type semi-conducteur, lequel participe à la fonction « active » par ses propriétés intrinsèques. Cela n’exclut pas que des éléments puissent être rapportés sur le substrat, en particulier un réseau d’interconnexions en couches minces.
Un circuit intégré hétérolithique (ou hybride) se caractérise par un substrat isolant, ou rendu isolant, sur lequel l’ensemble...
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