3. Technologie ALD pour l’encapsulation des microbatteries
3.1 Technologie des microbatteries au lithium
Une microbatterie est définie comme un générateur électrochimique tout solide rechargeable. Son principe de fonctionnement repose sur l’insertion et la désinsertion (ou intercalation-désintercalation) d’un ion de métal alcalin ou d’un proton dans l’électrode positive. Les principaux systèmes...
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Technologie ALD pour l’encapsulation des microbatteries
Technologie MLD
Sources bibliographiques
- (1) - TROPSHA (Y.G.), HARVEY (N.G.) - Activated Rate Theory Treatment of Oxygen and Water Transport through Silicon Oxide/Poly(ethylene terephthalate) Composite Barrier Structures. - The Journal of Physical Chemistry B, 101, p. 2259-2266 (1997).
- (2) - AFFINITO (J.D.), GROSS (M.E.) et al - À new method for fabricating...
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