5. Annexe : extension de la notion d’optiques binaires
Avec le développement de la photolithographie, la notion d’optique binaire peut être étendue augmentant ainsi le nombre de composants possibles. Un composant binaire peut donc être considéré comme une optique pouvant être réalisée à partir d’un seul, voire de quelques masques de photolithographie.
Ainsi, une lentille de Fresnel peut être approximée par un profil à plusieurs niveaux, 2 niveaux étant la définition initiale d’une optique binaire ;
N
étapes de photolithographie produisent un composant composé de 2
N
niveaux de phase. On obtient alors un profil discret multi-niveaux, composé de
N
marches d’escalier (figure
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Annexe : extension de la notion d’optiques binaires