1. ALD dans les transistors à effet de champ (FET)
Le transistor à effet de champ (FET,
Field-Effect Transistor
) est une brique essentielle de l'industrie de la microélectronique.
Il permet de contrôler le courant entre une source et un drain à travers
un canal semi-conducteur, en utilisant un champ électrique appliqué
par une grille. Nous ne décrivons pas ici son fonctionnement, et renvoyons
le lecteur à
Depuis son invention, le transistor FET a subi des évolutions majeures pour répondre aux besoins croissants en performance et en miniaturisation....
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ALD dans les transistors à effet de champ (FET)
Mémoires à base de matériaux ferroélectriques (FeRAM)
Sources bibliographiques
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