3. Analyse des propriétés physico-chimiques de la couche élaborée en cours de croissance
Ces dernières années, le besoin de caractériser au plus près de la croissance les propriétés des matériaux élaborés a conduit au développement de nombreux ensembles instrumentaux reliés par des dispositifs de transfert sous vide (cluster tool). Ceci est particulièrement intéressant dans le cas de matériaux sensibles à l’air, afin d’étudier les propriétés sans altération induite par le transfert à l’air libre. Ces caractérisations sont dans des conditions très proches des conditions in situ. Elles sont parfois labellisées comme in vacuo et seront abordées plus loin (§ 3.2 ).
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Analyse des propriétés physico-chimiques de la couche élaborée en cours de croissance
Analyse des propriétés fonctionnelles in situ : étude des propriétés électriques
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