Détermination du GPC
Apport de la caractérisation in situ dans les procédés ALD

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RE263 V2 Article de référence

Détermination du GPC
Apport de la caractérisation in situ dans les procédés ALD

Auteur(s) : Jean-Luc DESCHANVRES, Carmen JIMENEZ

Date de publication : 9 octobre 2026

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1. Détermination du GPC

Comme expliqué dans [RE 253], le procédé d’ALD se caractérise par un paramètre propre, qui remplace la vitesse de croissance en nm·s−1 ou mm·hn−1 utilisés pour d’autres procédés de dépôt. Il s’agit de la croissance par cycle ou Growth per cycle (GPC). Ce paramètre ne peut pas être considéré comme une unité, car le cycle n’a pas de définition unique ni d’unité connue, mais il permet de mettre en évidence la fenêtre de dépôt ALD et le caractère autolimitant du procédé. Pour la détermination du GPC in situ, en plus des techniques classiques déjà...

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