2. Description technique de l’innovation
La première étape du schéma de fabrication consiste à former un film PDMS (Dow Corning Sylgard 184 Kit) sur un substrat en verre. Les films minces, dont l’épaisseur ne dépasse pas 100 μm, sont préparés par enduction centrifuge, tandis que des films plus épais sont réalisés par coulée. Le rapport polymère/agent de réticulation est de 10:1. Le film est réticulé à 100 °C pendant 30 min sur une plaque chauffante. Ensuite, la deuxième couche est formée sur le premier film, avec l’utilisation de PDMS contenant de l’huile de silicium (Rhodorsil, 47 V 350). La fraction volumique de l’huile,
x
=
V
oil
/(
V
oil
+
V
PDMS
), varie de
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Description technique de l’innovation