5. Perspectives et évolutions
Bien que brevetée dès 1974, à la même période que l’ALD temporelle, la technique de l’ALD spatiale n’a véritablement émergé qu’au début du XXI e siècle. La possibilité de réaliser des procédés ALD à des vitesses de dépôt beaucoup plus élevées, à pression atmosphérique et même à l’air libre, a fait de la SALD une technique qui suscite un intérêt croissant et connaît un essor important. Depuis les premières publications en 2008, le nombre d’études n’a cessé d’augmenter, approchant aujourd’hui les 300 articles. La SALD a aussi franchi le cap du passage de l’échelle du laboratoire à l’échelle industrielle, et différents systèmes commerciaux sont déjà disponibles, aussi bien pour la recherche en laboratoire que pour la production.
La SALD est une technologie de dépôt très flexible, offrant une grande liberté de conception,...
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Perspectives et évolutions
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