1. Technologie ALD pour l’encapsulation
La figure 1 donne une illustration des deux types de dispositifs en couches minces traités dans ce document : les dispositifs OLED et les microbatteries.
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Technologie ALD pour l’encapsulation
Sources bibliographiques
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(1) - TROPSHA (Y.G.), HARVEY (N.G.) - Activated Rate Theory Treatment of Oxygen and Water Transport through Silicon Oxide/Poly(ethylene terephthalate) Composite Barrier Structures. - The Journal of Physical Chemistry B, 101, p. 2259-2266 (1997).
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(2) - AFFINITO (J.D.), GROSS (M.E.) et al - À new method for fabricating...
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BELMONTE (T.) - Dépôts chimiques à partir d’une phase gazeuse. -
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