2. Métriques de performance
Dans cette section, nous allons décrire les différents indicateurs de performance qui doivent être pris en considération lors de la conception et la sélection d’un réacteur ALD pour une application spécifique.
2.1 Propriétés physico-chimiques des couches et chimie des précurseurs
Le premier facteur à considérer est le choix des précurseurs et la gamme de températures de dépôt qui sont ciblés. La plupart des réacteurs modernes peuvent gérer un grand nombre de compositions chimiques de précurseurs. L’utilisation d’une certaine chimie peut néanmoins avoir un impact sur les détails de la mise en œuvre du réacteur. Par exemple, l’utilisation de précurseurs halogènes (par exemple TiCl 4 ) peut générer des produits réactifs...
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Métriques de performance
Architectures de réacteur
Sources bibliographiques
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