3. Types de réacteurs ALD
Nous donnons un aperçu des différents types de réacteurs ALD,
incluant l’ALD temporelle, spatiale et l’ALD sur poudre. Les réacteurs
comportant une activation plasma sont décrits plus en détail dans
3.1 Réacteurs ALD temporels
Dans les réacteurs ALD temporels, les pulses de précurseur et de gaz de purge sont créés sous forme d’une séquence de pulses...
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Types de réacteurs ALD
Conclusions et perspectives
Sources bibliographiques
- (1) - - https://webbook.nist.gov/chemistry/
- (2) - DENDOOVEN (J.), DEDUYTSCHE (D.), MUSSCHOOT (J.), VANMEIRHAEGHE (R.L.), DETAVERNIER (C.) - Modeling the Conformality...
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