4. Conclusions et perspectives
Comme cela a été montré, les réacteurs ALD peuvent être conçus de nombreuses manières différentes, en fonction notamment de l’application visée, du type de substrat, du précurseur utilisé et de la nature du procédé. Dans tous les cas, le paramètre le plus important est l’isolement effectif des différents précurseurs, afin que seules des réactions de surface auto-limitantes puissent avoir lieu.
L’un des principaux défis de l’ALD temporelle consiste à concevoir de nouveaux concepts de réacteurs permettant d’atteindre des vitesses de dépôt plus élevées. Le concept ALD développé par Encapsulix a été l’un des premiers à repenser l’architecture du réacteur et le mode d’injection des précurseurs, afin d’augmenter la vitesse de dépôt. Plus récemment, les réacteurs proposés par Forge Nano et Oxford se sont aussi concentrés sur la réduction de la durée du cycle ALD afin d’accroître...
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Conclusions et perspectives
Sigles, notations et symboles
Sources bibliographiques
- (1) - - https://webbook.nist.gov/chemistry/
- (2) - DENDOOVEN (J.), DEDUYTSCHE (D.), MUSSCHOOT (J.), VANMEIRHAEGHE (R.L.), DETAVERNIER (C.) - Modeling the Conformality...
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