Propriétés fondamentales influençant la conception du réacteur
Technologies de réacteurs pour le dépôt par couche atomique : fondements, sous-systèmes et configurations

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RE254 V2 Article de référence

Propriétés fondamentales influençant la conception du réacteur
Technologies de réacteurs pour le dépôt par couche atomique : fondements, sous-systèmes et configurations

Auteur(s) : Jacques KOOLS, David MUÑOZ-ROJAS, Abderrahime SEKKAT

Date de publication : 10 octobre 2026

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1. Propriétés fondamentales influençant la conception du réacteur

1.1 Pression de vapeur du précurseur

La pression de vapeur d’une molécule est une fonction fortement dépendante de la température, généralement décrite par l’équation d’Antoine :

Log10P=A−B/T+C( 1 )

avec :

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