4. Applications de la SALD
À ce jour, plusieurs matériaux ont été déposés en utilisant des réacteurs de SALD, comme détaillé dans le tableau 1 . Les applications vont des composants actifs et passifs pour -transistors à couches minces (TFT), à des composants actifs pour les cellules solaires de nouvelle génération. Quelques exemples sont brièvement décrits ci-après.
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Applications de la SALD
Conclusion
Sources bibliographiques
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