Sigles
Apport de la caractérisation in situ dans les procédés ALD

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RE263 V1 Recherche et innovation

Sigles
Apport de la caractérisation in situ dans les procédés ALD

Auteur(s) : Jean-Luc DESCHANVRES, Carmen JIMENEZ

Date de publication : 10 octobre 2016 | Read in english

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5. Sigles

ALD  : Atomic Layer Deposition – Déposition Atomique par flux alterné

ANR  : Agence Nationale de la Recherche

DMZ  : Dimethylzinc, Zn(CH 3 ) 2

DEZ  : Diethylzinc, Zn(C 2 H 5 ) 2

DFT  : Density Functional Theory – théorie de la densité fonctionnelle

DMA  : Diméthylamine

EMA  : effective-medium-approximation...

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