3. Nombreuses questions ouvertes
Les métaux sont donc omniprésents dans la microélectronique. Cependant, les questions posées ne sont pas nécessairement identiques à celles qui émergent dans les domaines plus « classiques » des applications structurales. Il importe donc de bien clarifier les spécificités du domaine pour identifier de façon pertinente les « questions ouvertes ».
Une caractéristique constante de la microélectronique est la présence de
situations confinées
: couches minces, canaux et plots. Une autre caractéristique est la
coexistence forcée
entre des matériaux aux comportements très différents : silicium et cuivre, oxydes de silicium, intermétalliques de barrières. Et enfin,
les procédés mêmes d'élaboration
, comprenant une séquence de dépôts et de traitements...
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Nombreuses questions ouvertes