3. Nombreuses questions ouvertes
Les métaux sont donc omniprésents dans la microélectronique. Cependant, les questions posées ne sont pas nécessairement identiques à celles qui émergent dans les domaines plus « classiques » des applications structurales. Il importe donc de bien clarifier les spécificités du domaine pour identifier de façon pertinente les « questions ouvertes ».
Une caractéristique constante de la microélectronique est la présence de situations confinées : couches minces, canaux et plots. Une autre caractéristique est la coexistence forcée entre des matériaux aux comportements très différents : silicium et cuivre, oxydes de silicium, intermétalliques de barrières. Et enfin, les procédés mêmes d'élaboration, comprenant une séquence de dépôts et de traitements thermiques, conduisent à des problèmes spécifiques. Cette fois encore, il n'est pas question d'être exhaustifs, nous nous contentons...
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Nombreuses questions ouvertes
Besoin fort de compétences en métallurgie
Sources bibliographiques
- (1) - BARDEEN (J.), BRATTAIN (W.H.) - The Transistor, A Semi-Conductor Triode. - Phys. Rev. 74, p. 230-231. https://doi.org/10.1103/PhysRev.74.230 (1948).
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"Étude et propriétés des métaux"
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