5. Technologies de fabrication des moules
Une des spécificités du microPIM est liée aux moules. Le PIM utilise des technologies de fabrication traditionnelles, comme l’usinage, mais celles-ci ne sont plus suffisantes pour fabriquer des moules ayant des microdétails. Dans ce cas, on fait à la fois appel aux procédés de fabrication des microsystèmes et des technologies de micro-usinage (figure 11). Les procédés de fabrication des moules sont séparables en trois catégories de technologies :
les procédés de la microélectronique : lithographie, électroformage, LIGA, CVD, PVD et NanoImprint Lithographie (NIL) ;
les procédés assistés par l’énergie : ablation laser, microEDM et usinage ionique ;
les procédés mécaniques : microperçage...
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Technologies de fabrication des moules
MicroPIM et environnement
Sources bibliographiques
Sources bibliographiques
- (1) - - https://rmis.jrc.ec.europa.eu/?page=crm-list-2020-e294f6
- (2) - NISHIYABU (K.), MATSUZAKI (S.),...
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