2. Principe général de l’ALD
2.1 Notions fondamentales de l’ALD
2.1.1 Dépôt chimique en phase vapeur
L’ALD est une variation récente d’une technique développée dès les années 1920, le dépôt chimique en phase vapeur (CVD,
Chemical Vapor Deposition
)
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Principe général de l’ALD
Procédé ALD
Sources bibliographiques
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