3. Dispositif expérimental
Une installation classique comprend :
une enceinte à vide et son groupe de pompage ;
une source de mise en phase vapeur ;
les alimentations électriques de la cathode et de la source de mise en phase vapeur.
3.1 Dispositif de vide
Le dispositif de pompage utilisé dépend de la nature du matériau à déposer. Si ce matériau est peu sensible à l’oxygène ou à l’azote, le pompage peut être assuré par des pompes Roots qui permettent d’obtenir une évacuation rapide et une pression limite suffisante (p » 1,5 × 10– 2 Pa). Cependant dans la majorité des cas les dépôts sont sensibles aux gaz résiduels et on a intérêt à avoir un bon vide limite (p » 10–4 à 10– 5 Pa). Pour ceci...
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Dispositif expérimental
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