1. Généralités sur le passage des ions dans la matière
Les huit figures et les deux tableaux qui vont suivre décrivent les principes élémentaires sur lesquels repose le passage des ions dans la matière.
Lorsque des ions positifs énergétiques (protons, deutérons, hélions-3 ou hélions-4 d’environ 1 MeV) bombardent un solide, ils provoquent des excitations et des ionisations depuis la surface et tout le long de leur trajectoire dans le volume. Des rayonnements secondaires sont alors produits : électrons, ions, photons et atomes (figure 1).
Lors de leur parcours, ces ions sont ralentis et peuvent s’implanter à l’intérieur du solide (figure
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