Conclusion
Techniques de mesure de grandeurs électriques adaptées aux nanocircuits

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R1084 V1 Article de référence

Conclusion
Techniques de mesure de grandeurs électriques adaptées aux nanocircuits

Auteur(s) : Brice GAUTIER, Pascal CHRÉTIEN, Khalifa AGUIR, Frédéric HOUZÉ, Olivier SCHNEEGANS, Johannes HOFFMANN, Nicolas CHEVALIER, Łukasz BOROWIK, Dominique DERESMES, Pierre GOURNAY, Philippe MAILLOT, François PIQUEMAL

Relu et validé le 25 avril 2024 | Read in english

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6. Conclusion

Depuis l'apparition de la microscopie en champ proche, les techniques de mesure de grandeurs électriques n'ont cessé d'évoluer et de se diversifier. Depuis la simple mesure de courant à l'air jusqu'aux mesures de potentiel sous ultravide, diverses stratégies ont été mises en œuvre pour combattre une faiblesse du rapport signal sur bruit inévitable lorsque les surfaces mises en jeu deviennent aussi faibles, et de nombreux artefacts ont été identifiés et maîtrisés. Aujourd'hui, toutes les grandeurs électriques sont accessibles avec des degrés divers de précision. Il reste que les mesures électriques à cette échelle ne sont pas encore pleinement entrées dans une phase métrologique qui constitue aujourd'hui leur évolution naturelle : passer de la simple obtention d'un contraste (rôle dans lequel elles peuvent être facilement confinées) à une mesure quantifiée (valeur et incertitude associée)....

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