6. Conclusions
L’objectif de cette comparaison était d’évaluer la situation en France sur l’étalonnage et la justesse des mesures par AFM et MEB. Pour cela, six réseaux ont circulé parmi les 26 participants. Trois réseaux étaient des étalons VLSI possédant un pas nominal de 1,8 µm et une hauteur de marche de 40 nm, les trois autres étaient des réseaux dont le pas et la hauteur de marche étaient inconnus et à déterminer (pas de réseau nominal de 900 nm, hauteur de marche de 60 nm). L’objectif était pour chacun des participants de mesurer les propriétés dimensionnelles de ces deux réseaux avant et après étalonnage de leur instrument.
La comparaison a montré que la grande majorité des instruments n’étaient pas étalonnés et que les utilisateurs n’étaient, pour la plupart, pas familiers avec les procédures d’étalonnage. En suivant le protocole fourni, les participants ont réduit globalement...
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