Comparaison de mesures des dimensions caractéristiques de réseaux pour l’étalonnage des AFM et MEB

Les microscopes à force atomique (AFM pour Atomic Force Microscopy ) et les microscopes électroniques à balayage (MEB, ou SEM pour Scanning Electron Microscopy ) sont devenus des instruments incontournables notamment pour la mesure dimensionnelle de réseaux ou d’objets à l’échelle nanométrique. Ils sont très largement répandus dans les secteurs industriel et académique. Cependant, pour fournir des informations métrologiquement fiables (traçables au Système international d’unités, SI) et donc comparables, ces instruments doivent être étalonnés périodiquement à l’aide de réseaux de référence eux-mêmes étalonnés.

Après étalonnage et dans un souci de vérification de l’exactitude de la mesure retournée par l’instrument, un exercice de comparaison peut également être initié. À cette fin, l’utilisateur compare ses mesures avec celles délivrées par un autre utilisateur, un autre instrument ou un autre laboratoire.

Ce type de comparaison peut être lancé à une échelle beaucoup plus grande pour vérifier les capacités de mesures d’un ensemble d’utilisateurs à une échelle nationale, voire internationale.

Pour l’AFM et le MEB, ces comparaisons sont généralement initiées par des instituts de métrologie avec des participants souvent au fait des notions d’incertitude et de traçabilité à . Ces comparaisons mettent en œuvre des protocoles discutés entre instituts et très stricts.

En France, malgré le parc instrumental très développé, aucune comparaison de ce type n’avait été lancée avant 2014. C’est pour cette raison que le groupe de travail « Instrumentation » du Club nanoMétrologie,...