Déroulement de la comparaison
Comparaison de mesures des dimensions caractéristiques de réseaux pour l’étalonnage des AFM et MEB

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Déroulement de la comparaison
Comparaison de mesures des dimensions caractéristiques de réseaux pour l’étalonnage des AFM et MEB

Auteur(s) : Alexandra DELVALLÉE, Sébastien DUCOURTIEUX

Date de publication : 10 décembre 2022 | Read in english

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2. Déroulement de la comparaison

La comparaison a été pilotée par le LNE dans le cadre du Club nanoMétrologie (Groupe technique « Instrumentation ») et s’est déroulée en 2014 et 2015.

Cette comparaison impliquant beaucoup de participants (26 au total), il a été décidé de faire circuler deux lots d’échantillons, chacun comprenant un réseau P900H60 et un étalon VLSI. Un lot de secours était également prévu en cas de perte de colis ou de détérioration des réseaux au cours de la comparaison.

La figure  4 explique l’organisation de la comparaison en trois étapes :

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