Protocoles
Comparaison de mesures des dimensions caractéristiques de réseaux pour l’étalonnage des AFM et MEB

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Protocoles
Comparaison de mesures des dimensions caractéristiques de réseaux pour l’étalonnage des AFM et MEB

Auteur(s) : Alexandra DELVALLÉE, Sébastien DUCOURTIEUX

Date de publication : 10 décembre 2022 | Read in english

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3. Protocoles

3.1 Protocole en deux phases

La comparaison se déroulait en plusieurs étapes pour le participant (figure  5 ). La première étape consistait à mesurer une première fois les deux réseaux (P900H60 et VLSI) afin de déterminer leurs caractéristiques dimensionnelles.

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