1. Description des échantillons
Pour cette comparaison, deux types de réseaux périodiques ont été mis en circulation par le Club nanoMétrologie. Le premier était un réseau 2D, développé en partenariat avec le Centre de Nanosciences et de Nanotechnologies (C2N, CNRS / Université de Paris Saclay), dont les propriétés dimensionnelles n’étaient pas connues (hauteur de marche et pas de réseau). Cette structure est appelée dans la suite du document « P900H60 ». La seconde structure était un réseau étalon de VLSI Standards® possédant un certificat d’étalonnage pour le pas du réseau et la hauteur de marche . Elle était fournie par la société Kummer Semiconductor Technology*.
*Cette société s’appelait en 2014 JP Kummer.
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Description des échantillons
Déroulement de la comparaison
Sources bibliographiques
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