5. Applications de ces techniques pour la caractérisation des dispositifs nanostructurés ou nanosystèmes
5.1 Contexte industriel
Dans l'industrie de la microélectronique, le besoin en mesures locales, c’est-à-dire au plus proche du composant élémentaire, est apparu avec la réduction continue des dimensions. Ceci est vrai pour une grande partie de la métrologie et en particulier pour les mesures électriques. Le contrôle de procédé est fondé sur un très grand nombre de mesures qui sont effectuées dans des structures de test adaptées au paramètre à quantifier et d'une taille de quelques dizaines de micromètres de côté. Elles sont localisées dans les lignes de découpes entre puces. Cette stratégie de mesure n'est pas satisfaisante dans tous les cas et ceci pour deux raisons. La première est l'éloignement de ces structures par rapport à la puce qui génère des mesures biaisées par rapport...
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Applications de ces techniques pour la caractérisation des dispositifs nanostructurés ou nanosystèmes
Conclusion
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