4. Perspectives métrologiques générales
4.1 Mieux maîtriser les incertitudes et améliorer la qualité métrologique de la mesure à cette échelle
La sensibilité et la résolution des mesures réalisées à l’aide des différents eSPM décrits dans cet article sont relativement bien maîtrisées et suffisantes dans un grand nombre d’applications pour imager les variations d’une grandeur locale ou en effectuer une spectroscopie avec un contraste et une exactitude suffisants. De surcroît, les améliorations continues apportées à ces appareils par leurs fabricants permettent de rester au plus près des besoins requis par les acteurs industriels ou académiques impliqués dans des activités de recherche et de développement en micro et nanoélectronique. La limite pratique de ces appareils réside plutôt actuellement dans le fait que, à l’exception...
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Perspectives métrologiques générales
Applications de ces techniques pour la caractérisation des dispositifs nanostructurés ou nanosystèmes
Sources bibliographiques
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