Mesures de force électrostatique
Techniques de mesure de grandeurs électriques adaptées aux nanocircuits

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R1084 V1 Article de référence

Mesures de force électrostatique
Techniques de mesure de grandeurs électriques adaptées aux nanocircuits

Auteur(s) : Brice GAUTIER, Pascal CHRÉTIEN, Khalifa AGUIR, Frédéric HOUZÉ, Olivier SCHNEEGANS, Johannes HOFFMANN, Nicolas CHEVALIER, Łukasz BOROWIK, Dominique DERESMES, Pierre GOURNAY, Philippe MAILLOT, François PIQUEMAL

Relu et validé le 25 avril 2024 | Read in english

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3. Mesures de force électrostatique

3.1 Microscopie à force électrostatique (EFM)

La microscopie à force électrostatique (EFM) est une technique dérivée de l’AFM en mode résonnant qui permet de visualiser la distribution du potentiel électrique induite par la présence de charges et/ou de dipôles à la surface d’un échantillon. Cette technique est fondée sur la détection de la force électrostatique, une force à longue portée (> 100 nm), qui existe entre une pointe conductrice et un échantillon en présence d’une différence de potentiel non nulle. Le premier essai de détection de la force électrostatique a été réalisé dès 1988 par Martin et ses collaborateurs 

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