Performances
Le microscope à force atomique métrologique

Les premiers résultats présentés permettent d’évaluer la stabilité de la chaîne métrologique du mAFM. Ces données sont très importantes car elles représentent la limite ultime que pourra atteindre la stabilité en position de l’instrument lorsque celui-ci effectuera des mesures en boucle fermée. En effet, lorsqu’il travaille en boucle ouverte, l’instrument est sujet aux dérives. Ces dérives ont par exemple pour origine les dilatations mécaniques du montage ou les dérives des vérins piézo-électriques. Même si ces dérives sont présentes, elles sont pour la plupart mesurées par la chaîne métrologique ce qui permet, lorsque l’instrument fonctionne en boucle fermée, de les compenser. Cette compensation a toutefois ses limites. En effet, les dérives...