4. Conclusion
Cet article a présenté le concept de microsystèmes, ou MEMS, comme
dispositifs multifonctionnels miniaturisés intelligents, qui associent
des éléments mécaniques, optiques, électromagnétiques, thermiques
ou fluidiques avec une électronique embarquée. Ils peuvent être classés
selon leur principe physique de transduction, c’est-à-dire selon les
phénomènes qui permettent de convertir la grandeur à mesurer en une
grandeur électrique mesurable. Après quelques définitions, nous avons
rappelé de façon synthétique les technologies de fabrication disponibles,
puis décrit les principales familles de microsystèmes (inertiels,
radiofréquence, optiques, biologiques) associées aux applications
industrielles (automobile, aéronautique, robotique…), ainsi que les
déclinaisons plus récentes en environnement et en santé.
L’article termine par quelques perspectives d’évolution du domaine...
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