Microsystèmes - Capteurs, actionneurs et applications

Les microsystèmes, nés vers la fin des années 1980 et commercialisés à partir des années 1990-2000, connaissent toujours un intérêt important dans l’industrie, en particulier grâce aux dimensions réduites associées à des fonctionnalités de mesure innovantes. En effet, il s’agit d’intégrer sur une même puce de silicium des micro-capteurs ou actionneurs et de l’électronique de traitement embarqué. Les perspectives d’intégration et de fabrication collective issues de la microélectronique ont ouvert des possibilités de développement à la fois dans le monde industriel et dans celui du consommateur avec l’essor rapide de l’internet des objets.

Ces dispositifs sont dénommés MEMS ( Micro Electro Mechanical Systems ) aux États-Unis, micromachines au Japon et MST ( MicroSystems Technologies ) en Europe, ou plus simplement microsystèmes en France. Les premiers produits commercialisés ont été les accéléromètres des airbags de voiture, les têtes d’impression à jet d’encre des imprimantes, les micromiroirs des vidéoprojecteurs puis sont arrivés les microcommutateurs et les filtres accordables pour les télécoms ou les puces microfluidiques pour l’environnement et la santé.

L’article commence par des définitions essentielles, autour de la conception d’un microsystème, avec un résumé des technologies de fabrication disponibles. Il présente ensuite les principales familles de microsystèmes (inertiels, radiofréquences, optiques, biologiques) associées aux applications industrielles (automobile, aéronautique, robotique…), ainsi que les déclinaisons plus récentes en environnement et en santé. Il termine par quelques perspectives d’évolution du domaine des MEMS.

Il complète l’article [E 2 305] .