1. Définitions
1.1 Le concept de microsystème
Les microsystèmes sont des dispositifs multifonctionnels multiphysiques miniaturisés intelligents, dont les microstructures de base servant d’éléments sensibles ou d’actionneurs ont des dimensions ne dépassant généralement pas quelques millimètres, et pouvant descendre à quelques micromètres. Ils associent ces éléments de base (structures mécaniques, optiques, électromagnétiques, thermiques, fluidiques…) à des circuits électroniques embarqués. Ils assurent ainsi deux grandes catégories de fonctions :
la fonction capteur , qui détecte une information locale telle que thermique, biologique, chimique ou optique ;
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Définitions
Capteurs et actionneurs
Sources bibliographiques
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