5. Application
Nous nous intéresserons ici dans un premier temps aux microsystèmes radio-fréquence, puis aux microsystèmes optiques. Nous évoquerons ensuite les capteurs et autres applications des microsystèmes.
5.1 Microsystèmes radio-fréquence
Les premiers microsystèmes disponibles sur le marché ont été les capteurs . Puis, au vu des propriétés électriques et mécaniques offertes par les technologies microsystèmes, de nouveaux domaines d’applications ont été explorés.
Ainsi, une multitude de composants fonctionnant aux fréquences RF et millimétriques est apparue. Ces composants, souvent regroupés sous le terme commun microsystèmes RF ou RF-MEMS...
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Application
Perspectives à moyen terme
- (1) - - http://www.memsnet.org/links/software.html
- (2) - MADOU (M.) - Fundamentals of Microfabrication. - 752 p. 2002 CRC Press.
- (3) - RAI-CHOUDURY...
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