1. Généralités et procédés de fabrication
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Les MEMS ( Micro Electro Mechanical System ), nés il y a une vingtaine d’années, sont des microcapteurs et/ou micro-actuateurs. Ils sont micro-usinés et « intégrables » avec leur électronique. Ils utilisent pour leur fabrication la microtechnologie qui est une technologie d’usinage du silicium employant des procédés généralement collectifs et utilisés dans l’industrie de la microélectronique. L’électronique peut être associée sur le même substrat (intégration monolithique) ou assemblée par report dans le même boîtier ou sur le même substrat. Ils sont utilisés dans l’automobile (air bag, mesure de pression des pneus…), dans des applications grand public (téléphones mobiles, console de jeux, vidéo projecteur), dans l’industrie pétrolière (systèmes de mesure dans le puits), le médical ( pacemakers ...
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Généralités et procédés de fabrication
Transductions utilisées dans les MEMS
Sources bibliographiques
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