2. Transductions utilisées dans les MEMS
Nous classons, ici, les capteurs MEMS par le type de principe physique mis en œuvre pour effectuer la conversion du type de grandeur à mesurer vers la grandeur électrique qui permettra son exploitation (exemple : principe capacitif, piézoélectrique, piézorésistif, etc). Avant cela, il convient de rappeler que ces mécanismes reposent sur la déformation des structures en silicium ou autre matériau. Le paragraphe suivant traite des relations entre forces et déformations dans un matériau.
2.1 Rappel d'élasticité
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Transductions utilisées dans les MEMS
Électronique de conditionnement
Sources bibliographiques
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