1. Microcapteurs, microtechnologies
Cette catégorie de capteurs, où l’on cherche davantage à tirer profit de nouveaux outils de production que de nouveaux principes, allie étroitement les procédés de fabrication de la microélectronique à ceux de la micromécanique. Cette évolution, sous-tendue par la nécessité de produire à faible coût des capteurs intégrés, petits et fiables, est apparue avec la réalisation des premiers senseurs à jauges intégrées (cf.
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Microcapteurs, microtechnologies
Capteurs et transmetteurs à balance de forces asservie
Sources bibliographiques
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