Conclusion
Méthode de microanalyse des surfaces et couches minces

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Conclusion
Méthode de microanalyse des surfaces et couches minces

Auteur(s) : Guy BLAISE

Relu et validé le 5 janvier 2014 | Read in english

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5. Conclusion

Nous avons tenté, dans cet article, de faire le point sur les méthodes de microanalyse qui, aujourd’hui, se sont imposées comme moyen d’investigation indispensable au progrès scientifique et technique. La question qui se pose alors est y a-t-il encore des développements majeurs à attendre de ces méthodes ou ont-elles atteint leur pleine maturité ?

On peut apporter un élément de réponse à cette question en discutant deux points sur lesquels, dans leur ensemble, ces méthodes devraient progresser dans un avenir proche.

Une méthode de microanalyse a pour principe d’explorer la matière par des sondes aussi petites que possible. La microscopie électronique à transmission à haute résolution a, dans ce domaine, atteint ses limites. Par contre, de grands progrès sont à attendre en microanalyse ionique (SIMS) avec la réalisation de ...

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