3. Instrument
Un microscope électronique à balayage est constitué des éléments suivants (figure 1 ) :
• Une colonne électronique , comprenant un canon à électrons, plusieurs lentilles électromagnétiques (« condenseurs »), un certain nombre de bobines électriques d’alignement et de réglages, et un dispositif de balayage électronique du faisceau.
Cette colonne est maintenue sous vide à un niveau minimum de 10 –3 Pa. Dans les microscopes courants, le vide nécessaire est obtenu par une pompe primaire à palettes couplée...
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